自面世以来， Prismo UniMax MOCVD设备凭借优异的波长均匀性、高能效和高产能等优势迅速获得了市场认可，团队专业及时的现场支持和细致规范的技术服务也备受客户青睐。作为专为高性能Mini LED量产而设计的MOCVD设备，Prismo UniMax 具备高产能和高灵活性的特点，在同一系统中可配备多达4个反应腔，每个反应腔均可实现独立控制。Prismo UniMax 配置了785mm大直径石墨托盘，通过石墨托盘的不同设计配置，最多可实现同时加工164片4英寸或72片6英寸外延晶片，有效提高产能并降低生产成本。此外，Prismo UniMax 创新的多区辅助加热调节系统，能精确控制托盘局部区域温度，有助于更大程度提升LED波长均匀性。

中微公司MOCVD设备Prismo UniMax

目前，中微公司开发的一系列MOCVD设备在行业内主要的LED生产线上已全面投入量产。Prismo UniMax 是MOCVD设备系列新一代产品，该产品系列还包括Prismo D-BLUE 、Prismo A7 、Prismo HiT3 和Prismo PD5 。2013年，中微公司率先发布国内自主研发制造的量产型MOCVD设备Prismo D-BLUE 。此后，中微公司又于2017年、2020年、2021年、2022年相继推出了Prismo A7 、Prismo HiT3 、Prismo UniMax 和Prismo PD5 产品。

“此次里程碑是中微公司取得的又一次重要突破，为今后MOCVD产品市场进一步开拓奠定了坚实的基础。“中微公司副总裁兼MOCVD产品事业部总经理郭世平表示：“我们感到十分自豪，中微公司开发的一系列MOCVD设备，获得了客户与市场的广泛认可，部分产品在细分领域市占率达到全球排名第一。未来，随着新应用的进一步拓展，我们将继续推进与客户的密切合作交流，通过技术领域的持续创新，不断为客户提供极具竞争力的产品和解决方案，实现稳步发展与深度共赢，共同谱写产业更加美好的明天。”